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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:大尺寸樣品正置式顯微鏡

  • 產(chǎn)品型號(hào):Axio Imager Vario
  • 產(chǎn)品廠商:德國蔡司
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
分析從極小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓,或甚至整塊平板顯微器,其間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。借助*大 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和*高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下檢測(cè)大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至更佳聚焦位置。
詳情介紹:

大尺寸樣品正置式顯微鏡Axio Imager Vario特點(diǎn):


 

兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,充分   利用顯微鏡*大 300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離和*高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。

Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品。這就意味著,即便是較重的樣品,也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。

借助自動(dòng)聚焦硬件,您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。

Axio Imager Vario LSM 700 組合應(yīng)用,以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。


                 晶圓

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